组成
高精度（微米）智能缺陷检测装备
• nm级精度光学传感器
• 亚um级高精密多轴运动平台
• 微孔负压吸具
• 高精度智能检测系统软件
功能
um级别非接触测量需要使用nm级精度传感器，如光谱共聚焦、白光干涉、多焦面叠加，与亚um级高精密多轴平台联动，实现零件的三维轮廓重建和测量。
工作流程
1.根据测量项目，自主规划数据采集路径
2.协同控制多轴平台获取高精度三维轮廓数据
3.智能识别、进行全尺寸测量和缺陷检测等
性能参数
- 产品描述
-
- 商品名称: 高精度（微米）智能缺陷检测装备
通用智能检测机器人
组成
• nm级精度光学传感器
• 亚um级高精密多轴运动平台
• 微孔负压吸具
• 高精度智能检测系统软件
功能
um级别非接触测量需要使用nm级精度传感器，如光谱共聚焦、白光干涉、多焦面叠加，与亚um级高精密多轴平台联动，实现零件的三维轮廓重建和测量。
工作流程
1.根据测量项目，自主规划数据采集路径
2.协同控制多轴平台获取高精度三维轮廓数据
3.智能识别、进行全尺寸测量和缺陷检测等
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